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      高精度XY軸直線模組

      作者:Mosen摩森機電 日期:19/02/20 10:36 瀏覽:367

      Akribis直線模組設計特點:

      A. 直線電機直驅

      B. 高精度以及精準回零

      C. 3種蓋板可供選擇(包括無塵室蓋板)

      D. 行程從100 mm 至1200mm

      E. 模塊化設計


       DGL系列(雙導軌直線模組)采用Akribis直線電機系統,具有高剛性以及高穩定性的特點。作為Akribis標準模組為客戶提供方便快捷的模組制定方案。


      直線電機直驅

      采用Akribis直線電機對模組進行直接驅動。兩種型號電機可供選擇: AUM系列(無鐵芯電機)ACM系列(有鐵芯電機)。AUM系列為客戶提供低速更加穩定的模組系統。ACM系列在相同尺寸下為客戶提供更大的直驅推力。

       

      高精度以及精準回零

      DGL系列標準模組采用高精度的光柵編碼器系統,為客戶提供高精度的定位平臺。

       

      模塊化設計

      DGL系列采用標準化的模塊設計,可以根據客戶需求進行模塊化組合。

      1562567574549239.

      直線模組XY直線模組XYZ直線模組XYZ直線模組XY直線模組


      性能參數單位參考值
      加速度G10
      速度(分辨率為1μm)




      m/s

      5(40μm光柵距和20MHz計數頻率)
      速度(分辨率為0.5μm)2.5(20μm光柵距和20MHz計數頻率)
      速度(分辨率為0.1μm)1.3(20μm光柵距和20MHz計數頻率)
      速度(模擬量編碼器)8(40μm光柵距和200KHz輸入頻率)
      4(20μm光柵距和200KHz輸入頻率)
      *直線度





      μm

      ±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
      *平面度±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
      重復精度(分辨率為1μm)±3μm(40μm光柵柵距)
      重復精度(分辨率為0.5μm)±1.5μm(20μm光柵柵距)
      重復精度(分辨率為0.1μm)±1μm(20μm光柵柵距)
      重復精度(模擬量編碼器)±5counts


      *所有的測量數值基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。




      SFB-直線模組

      高精度XY軸直線模組


       



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